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    無塵烘箱HSCOL-2D系列

    產品名稱:無塵烘箱HSCOL-2D系列

    產品品牌:humgine

    產品型號:HSCOL-2D

    產品單位:臺

    產品分類:潔凈烘箱

    產品備注:

    產品描述:

    無塵烘箱特點:

    HSCOL-2D系列無塵烘箱系用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到佳溫度控制精度。無塵潔凈烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。無塵烘箱也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

    無塵烘箱詳細資料:

    一.特點:
    1.在普通環境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 10
    2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
    3.采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE;
    4.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風,過濾效率99.99%,Class 10,排氣口:3"φ(附自動啟閉風門)

    二.執行與滿足標準
    1.GB/T11158-1989高溫試驗箱技術條件
    2.GB2423.2-1989試驗B

    三.無塵烘箱用途
    無塵潔凈烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。
    無塵潔凈烤箱也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

    四.無塵烘箱技術參數
    1.名稱及型號:無塵潔凈烤箱 HSCOL-2D
    2.主要技術指標:
    2.1無塵等級:Class 10;
    2.2溫度范圍: 60~ +300℃;
    2.3溫度均勻度:200℃±3℃、300℃±4℃;
    2.4溫度波動度:±0.5℃(空載)
    2.5溫控精度:±0.1℃;
    2.6潔凈烤箱擱板為活動形式。(兩箱式)
    2.7電源:380v , 50Hz,12Kw

    3、無塵烘箱體結構:
    3.1無塵烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風道系統組裝而成,結構合理,外觀美觀大方;
    3.2全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產生器,防機臺本身產生微塵;
    3.3箱體材料:外箱采用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵;
    3.4內膽材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE;
    3.5中桶材料:采用進口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板,并經堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。

    4、溫控系統
    4.1采用日本OMRON E5A型溫度控制器,潔凈烤箱 控制器LED數字顯示及設定、PID自動演算、薄膜設定,精確度±0.3%FS。;
    4.2訊號來源:采日制進口CA感應棒±0.5%。
    4.3輸出被控制組件:SSR無接點訊號輸出。

    5、完善的安全保護措施:
    漏電斷路器
    控制線路保險絲裝置
    超溫防止保護裝置
    電熱過電流保護裝置
    馬達過電流保護
    機臺異常蜂鳴器警示
    逆向防止器
    門面安全開關

    6、無塵烘箱選購設備:
    6.1 可程式溫控器
    6.2六點溫度記錄儀
    6.3三色指示燈
    6.4烘烤架

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